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기록
工件的清洗装置及工件的清洗方法
발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
原朱里; 岩崎史利; 若杉胜郎; 兼子优起
IPC 분류
H10P 72/00 (2026.01)H10P 72/76 (2026.01)B08B 3/02 (2006.01)B08B 3/08 (2006.01)B08B 5/02 (2006.01)B08B 15/04 (2006.01)
提出能够减少向工件的背面的颗粒附着量的工件的清洗装置及方法。具备具有筒状部(11a)和盖部(11b)的固定体(11)、在内部容纳筒状部(11a)的旋转体(13)的工件的清洗装置中，具备在盖部(11b)的下表面设置的排气口(28)、配置于固定体(11)内而一端与排气口(28)连接的排气管(21)、与排气管(21)的另一端连接而抽吸固定体(11)和旋转体(13)之间的空隙的气体的抽吸机构(22)、在盖部(11b)的下表面设置的非活性气体供给口(25)、配置于固定体(11)内而一端与非活性气体供给口(25)连接的非活性气体供给管(26)、与非活性气体供给管(26)的另一端连接而向固定体(11)和旋转体(13)之间供给非活性气体的非活性气体供给机构(27)。