一种用于检测晶圆盒内晶圆摆放状态的晶圆映射机构

本发明属于半导体设备技术领域，具体地说是一种用于检测晶圆盒内晶圆摆放状态的晶圆映射机构，包括两组对射传感器组件，每组对射传感器组件均包括一个发射端结构及一个接收端结构，两组对射传感器组件的发射端结构分别安装于升降腔体门上，两组对射传感器组件的接收端结构分别安装于升降设备腔体的远离升降腔体门的一侧壁的内侧面上。两组对射传感器组件的发射端结构所发出光线在竖直平面的投影相交而不平行。本发明通过两组对射传感器组件的配合设置，可采用两组检测数据对比并通过综合的逻辑判断，可有效减少扫描时间，有效避免了晶圆盒倾斜时可能发生误报跨片或叠片的缺陷，提高了识别结果的准确性与效率，安装结构相对简单，调整维护方便。