晶圆表面清洁装置

本发明公开了晶圆表面清洁装置，属于清洁设备领域，包括底板和固定在其上端表面的n型架，所述n型架的内顶壁固定安装有空心管一，所述空心管一的内壁处插设有空心管二，所述空心管二的下端固定安装有驱动马达，所述驱动马达的输出端固定连接有十字板，所述十字板的下端表面固定安装有清洁软毛，所述底板的上端表面固定焊接有立柱，且处于所述十字板的正下方，所述立柱的上端固定焊接有承载盘，本发明通过设置清洁剂添加机构，包括水箱、导液管、通孔一、通孔二以及L型出液管等结构，当空心管二下移使通孔一与通孔二相对时，水箱内的清洁液在重力作用下进入空心管二并由L型出液管导出到晶圆柱表面，实现清洁剂添加。