一种多尺寸晶圆传送盒

本发明公开了一种多尺寸晶圆传送盒，包括：晶圆转换器和盒体；晶圆转换器包括：晶圆架、第一片槽和第二片槽；第一片槽和第二片槽可拆卸安装在晶圆架上，晶圆架可拆卸安装在盒体内；第一片槽用于固定和支撑第一尺寸晶圆；第二片槽用于固定和支撑第二尺寸晶圆；通过在晶圆架不同位置上安装第一片槽或第二片槽可实现第一尺寸晶圆和第二尺寸晶圆收纳转换。该传送盒通过在晶圆架上可拆卸安装第一片槽或第二片槽，可实现第一尺寸晶圆和第二尺寸晶圆收纳转换，可直接采用天车系统进行多尺寸晶圆搬运，结构简单切换方便，无需更换晶圆架能大大降低生产成本，无需复杂的定位结构和程序，可实现快速拆换提高生产传送效率。