一种晶圆固定装置及晶圆干燥装置

本发明公开了一种晶圆固定装置及晶圆干燥装置。该晶圆固定装置包括：固定底座和旋转底座，该旋转底座上固定设有静电吸盘；多个均布在旋转底座周侧的对中组件，每个对中组件均包括外壳以及沿晶圆轴向对称设置在外壳上的上柔性垫块和下柔性垫块，外壳能够沿旋转底座径向移动，上柔性垫块和下柔性垫块均为弧形结构，旋转底座上设有用以驱动外壳移动的直线驱动器。本发明通过周向对中组件驱动各柔性垫块与晶圆边缘形成面接触，实现高精度对中与应力分散，结合静电吸盘对晶圆最终固定，随后驱动晶圆高速旋转与氮气喷吹协同干燥，确保晶圆洁净无损。