一种克服翘曲晶圆的载台装置

本发明涉及一种克服翘曲晶圆的载台装置，包括载台单元、上料手臂单元和翘曲晶圆产品；载台单元从下往上依次包括载台主腔下体和载台主腔上体顶升机构驱动上方的顶升载台上下移动，在顶升载台的顶部安装有若干个顶升载台吸盘，在顶升载台外侧的载台主腔上体的顶部设置有产品吸附载台吸盘；上料手臂单元包括上料机械手臂，在上料机械手臂的顶部安装有若干个用于吸附翘曲晶圆产品的机械手臂吸盘。本发明通过顶升机构与分区吸附机构的配合，采用分阶段吸附策略，先通过顶升载台吸盘吸附晶圆中心区域，再通过产品吸附载台吸盘完成整体吸附，有效克服大翘曲晶圆难以吸附的问题。