晶片测试系统以及探测器

本发明提供能够抑制设置空间的增加并且以低成本使探针卡的更换自动化的晶片测试系统、探针卡更换方法以及探测器。晶片测试系统具备：探测器，其具备保持半导体晶片的吸盘及具有探针的探针卡，并使探针与形成于半导体晶片的多个半导体芯片接触而进行半导体芯片的检查；顶棚行驶式无人搬运车，其将收纳检查前的多个半导体晶片的箱匣向探测器搬入并且将收纳检查完毕的多个半导体晶片的箱匣从探测器回收；搬运控制部，其控制顶棚行驶式无人搬运车，而将探针卡在探测器中预先设定的探针卡的更换位置与位于探测器以外的场所的探针卡的保管场所之间搬运；以及卡搬运机构，其将探针卡在探测器内的保持位置与更换位置之间搬运。