一种晶圆外观自动化检测装置及其检测方法

本发明申请涉及一种晶圆外观自动化检测装置及其检测方法，属于半导体制造技术领域，晶圆外观自动化检测装置包括：分度上料组件对晶圆蛋糕盒上料，晶圆蛋糕盒载有晶圆、晶圆垫片和晶圆隔离膜；移栽组件取走晶圆隔离膜、晶圆垫片并对晶圆隔离膜、晶圆垫片下料，并且还取走晶圆并下料晶圆于晶圆传送组件上；晶圆传送组件传送晶圆至晶圆翻面组件处，晶圆翻面组件将晶圆正面翻转到晶圆反面，晶圆正面图像获取单元获取晶圆正面图像，晶圆偏心图像获取单元获取晶圆传送图像，晶圆反面图像获取单元获取晶圆反面图像；控制单元，检测晶圆是否合格，如果是，晶圆放置至OK晶圆盒，如果否，晶圆放置至NG晶圆盒。本发明申请能够实现晶圆外观检测。