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案件記録
一种晶圆标记方法、装置、电子设备、存储介质及产品
発明有効
11請求項 · 5 独立
§ Ⅰ
案件概要
発明者
吴腾飞; 高红德; 钱大君
IPC分類
H10P 74/00 (2026.01)H10P 72/00 (2026.01)
本发明公开了一种晶圆标记方法、装置、电子设备、存储介质及产品。包括获取晶圆测试结果,晶圆测试结果包括晶圆上所有芯片对应晶格的原始坐标;基于第一目标芯片对应晶格的原始坐标,通过坐标转换将第一目标芯片对应晶格在前端页面中显示,前端页面显示所述第一目标芯片对应晶格的标准坐标,标准坐标为晶格在页面坐标系下的坐标,第一目标芯片为晶圆上所有芯片或所述晶圆上的待标记芯片;根据用户指令对前端页面中显示的第二目标芯片进行标记,第二目标芯片为晶圆上所有芯片中的部分芯片或所述晶圆上的待标记芯片。该方法通过坐标转换将芯片对应晶格在前端页面中显示,以在前端页面上对芯片状态进行标记,该方法可以减少人力且标记准确度较高。
外部リソース