一种晶圆位置检测装置及方法、存储介质

本发明提供了一种晶圆位置检测装置及方法、存储介质，其中装置包括：末端执行器，用于拾取及承载晶圆；线性传感器，其成对设置于所述末端执行器上，所述两个线性传感器的测量方向指向所述末端执行器上理论晶圆圆心，且两者测量方向之间的夹角大于0°小于180°；控制器，其与线性传感器信号连接，接收晶圆边缘接触点位置信号，并根据理论晶圆位姿与线性传感器之间的固定几何关系确定晶圆边缘接触点坐标，以测定晶圆中心。籍此支持在末端执行器拾取晶圆的静止或近静止瞬间，快速、实时、低成本地检测出晶圆中心位置。