一种膜层监测装置及外延设备

本发明公开了一种膜层监测装置及外延设备，膜层监测装置用于气相外延设备，该膜层监测装置包含：电子束发射机构，其包括电子出射组件和电子通道；电子出射组件用于产生电子束；电子通道的入口与电子出射组件的出射端连通，电子通道的出口设置在靠近晶圆边缘的位置；电子出射组件产生的电子束经由电子通道掠射到晶圆表面，以在晶圆表面衍射形成衍射电子束；电子束接收机构，其接收端位于外延腔室内；电子束接收机构被配置为捕获衍射电子束，并将衍射电子束转换为可量化信号；电子束接收机构还被配置为基于可量化信号对晶圆膜层进行原位监测。本发明能够在薄膜生长过程中原位监测膜层的结晶质量和沉积厚度，且可确保电子衍射信号的高质量成像。