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기록
芯片及其制作方法、芯片封装结构、电子设备
발명유효
1조회수
18청구항 · 4 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
陈淑慧; 蒋尚轩
IPC 분류
H10W 20/20 (2026.01)H10D 62/57 (2025.01)H10B 80/00 (2026.01)
本申请提供一种芯片及其制作方法、芯片封装结构、电子设备,涉及半导体技术领域,能够阻断衬底背面引入的金属污染。该芯片包括衬底结构、有源器件、硅通孔。其中,衬底结构包括:第一衬底、第二衬底、介质层。介质层位于第一衬底和第二衬底之间,且介质层能够阻挡金属扩散。有源器件设置在第一衬底远离介质层的一侧,第二衬底在靠近介质层的一侧具有吸杂层;硅通孔贯穿第一衬底、介质层、吸杂层并延伸至第二衬底中。通过介质层可以阻止第二衬底的背面引入金属扩散至有源器件区域,从而降低了有源器件发生电性异常或失效的几率。