一种晶圆堆叠重构的工艺方法和装置

本发明公开了一种晶圆堆叠重构的工艺方法和装置。晶圆堆叠重构的工艺方法包括：在第一尺寸的圆形的第一晶圆的居中位置切割出一个的矩形晶圆；所述矩形晶圆的四个顶点均位于所述第一晶圆的圆周；在一个第二尺寸的第二晶圆上刻蚀至少两个对准标记，所述第二尺寸大于所述第一尺寸；利用键合设备将所述矩形晶圆与一个所述对准标记进行定位和键合。本发明实施例所提供的技术方案提高了晶圆堆叠的效率和良率。