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기록

一种三维堆叠封装方法及结构

발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

蒋兴龙; 马书英

IPC 분류

H10W 90/24 (2026.01)H10W 90/22 (2026.01)H10D 80/30 (2026.01)H10W 70/08 (2026.01)H10W 70/652 (2026.01)

本发明公开了一种三维堆叠封装方法及结构,该方法包括以下步骤:在基材载板表面贴装无源器件和芯片;在基材载板表面形成塑封体;承载板相对的两面分别与塑封体进行键合;去除基材载板;正反面分别形成通孔、RDL线路、覆盖干膜结构、贴装第一芯片和第二芯片;正反面分别形成塑封体结构;正反面分别形成塑封料通孔;正反面分别形成RDL线路层;正反面分别进行制作绝源钝化层并制作凸点结构;去除承载板,正反面单独进行切割形成单颗产品。本发明在板级封装基础上实现双面芯片堆叠布局,集成多颗芯片及无源器件,突破传统单面堆叠限制,缩小封装面积,降低翘曲度,提高生产效率,适用于对空间占用、信号完整性和可靠性要求严苛的应用场景。