散热材料、散热部件、静电吸盘及散热材料的制造方法

提供一种散热部件用的散热材料、散热部件、含有该散热部件的静电吸盘、以及该散热材料的制造方法，适合在施加较大热量输入的处理工序中使用。在散热材料中，Mo相（1）与Ti相（2）共存，含有3原子%以上且50原子%以下的Ti，余量是Mo。另外，散热材料的制造方法具有如下工序：混合含有Mo的粉末和含有Ti的粉末，得到混合物的混合工序；烧结该混合物的烧结工序。