辨识激光系统中的气体泄漏

本发明涉及一种用于检测激光系统(10)的气体管线(24)中的气体泄漏的方法(30)。在此，在激光射束(14)被引导穿过用气体填充的过程腔(20)之后，用探测器来确定激光射束特性。在不同的时间点(Pi)更换所述过程腔(20)的气体，其中，所述气体先前在所述时间点(Pi)之间的时间段(Ri)、即气体年龄内存在于所述气体管线(24)中。在气体更换之后，用探测器来检测所述激光射束(14)的射束特性，并将射束特性的射束差异(Si)与气体年龄差异(Gi)关联起来，形成数据对(Di)。可以根据所述射束差异(Si)随所述气体年龄差异(Gi)的变化推断出所述气体管线(24)中的气体泄漏。为了量化气体泄漏，可以在所述气体年龄差异(Gi)上线性拟合所述射束差异(Si)。可以使用所述算法(28)进行所述数据对(Di)的计算和分析。优选地，可以由所述算法(28)通过气体压力分析自动化地确定气体更换的时间点(Pi)。本发明还涉及一种用于实施这种方法(30)的激光系统(10)。