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기록

用于制造多个半导体激光芯片的方法、半导体激光芯片、用于制造激光器件的方法以及激光器件

발명유효
1조회수
19청구항 · 14 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

劳拉·克赖纳; 休伯特·哈尔布里特; 玛丽埃尔·格拉斯·贾马

IPC 분류

H01S 5/0234 (2006.01)H01S 5/11 (2006.01)H01S 5/187 (2006.01)H01S 5/02 (2006.01)H01S 5/20 (2006.01)H01S 5/323 (2006.01)H01S 5/042 (2006.01)

提出了一种用于制造多个半导体激光芯片的方法,具有以下步骤:‑在生长衬底(1)上提供外延半导体层序列(2),该外延半导体层序列具有被设置用于产生电磁辐射的有源层(5),其中有源层(5)布置在第一半导体层(3)与第二半导体层(4)之间;‑在第一半导体层(3)/第二半导体层(4)中产生具有光子晶体(10)的光子层(9);‑从外延半导体层序列(2)的主面出发产生凹部(7),其中凹部(7)穿透有源层(5);‑在凹部(7)中施加多个第一接触部位(13),该第一接触部位与第一半导体层(3)电接触,以及在外延半导体层序列(2)的主面上或上方施加多个第二接触部位(14),该第二接触部位与第二半导体层(4)电接触。此外,还提出了一种半导体激光芯片、一种用于制造激光器件的方法以及一种激光器件。