用于裸片到晶片叠加计量的叠加计量目标

一种方法包含识别晶片上的第一组对准标记的打印位置，所述第一组对准标记是在由数值孔径及裸片的裸片高度界定的几何阴影之外。所述方法包含通过基于所述所识别打印位置打印所述第一组对准标记且在所述裸片的表面上打印第二组对准标记来制造叠加计量目标。所述方法包含识别包含一组测量参数的计量配方，其中所述一组测量参数至少包含物镜的焦点位置。所述物镜的所述焦点位置可为在所述裸片的顶表面下方预定距离处，所述预定距离是由最大数值孔径及所述裸片的所述裸片高度界定。所述方法包含根据所述所识别计量配方测量所述叠加计量目标的叠加。