可用于聚焦离子束的废气室内过滤装置

本发明公开了可用于聚焦离子束的废气室内过滤装置，其包括：消音单元，用于连接电镜或微纳加工系统的机械泵的排气口；防反吸过滤器，连接在消音单元的另一端，所述防反吸过滤器的一侧连接有废气软管；过滤吸附净化装置，其外侧壁上设置有气通快接口，所述废气软管通过气通快接口与所述过滤装置相连通；防尘机罩，安装在过滤吸附净化装置的排气端，所述防尘机罩上均匀分布有排气孔，所述过滤吸附净化装置内位于防尘机罩的一侧安装有强力排风机；本装置可以广泛用于扫描电子显微镜、电子书及离子束双束电镜或微纳激光加工系统，PVD（物理气相沉积）和CVD（化学气相沉积）及手套箱等设备。