一种半导体器件表面自动化清洗检测一体设备

本发明公开了一种半导体器件表面自动化清洗检测一体设备，其包括：机体，其前侧端面装配有竖向滑动设置的升降门；主清洗槽，设置在机体内为位于升降门的下方，所述机体内位于主清洗槽的一侧配置有副清洗槽；照明系统，设置在机体内位于主清洗槽与副清洗槽的正上方；LPC检测仪，设置在机体内并位于主清洗槽的另一侧，所述机体上位于LPC检测仪上方设置有控制面板；鼓泡膜机构，设置在主清洗槽与副清洗槽的底部。本发明运用液体颗粒检测设备本设备进行连接通过PLC控制程序达到：自动溢流、鼓泡、注水、排空、检测一体化，可以对产品溢流清洗检测及判定清洗是否完成，以达到更高的清洗品质，减少人员测试误差，解放人力。