Diffuser产品自动吹扫装置

本发明属于半导体制造技术领域，公开了一种Diffuser产品自动吹扫装置。该Diffuser产品自动吹扫装置包括安装支架、吹扫组件和移动组件，上述安装支架用于安装沿竖直方向放置的待清洗Diffuser产品；上述吹扫组件能够正对上述待清洗Diffuser产品设置且用于向上述待清洗Diffuser产品吹气；上述移动组件设置于上述安装支架，上述移动组件的输出端设置有上述吹扫组件，并驱动上述吹扫组件沿第一方向、第二方向和上述竖直方向运动，上述第一方向、上述第二方向和上述竖直方向两两互相垂直。该Diffuser产品自动吹扫装置，能够提高吹气效率，提高清洗效果，同时节省清洗的时间成本和人力成本。