一种多晶硅还原炉尾气孔清理设备及其清理方法

本发明公开了一种多晶硅还原炉尾气孔清理设备，涉及还原炉技术领域，包括还原炉和底板，所述底板位于还原炉底部，所述底板下端连有防护组件，所述防护组件下端连接有定位组件，所述定位组件下端一侧连接有尾气管道、废气管道和氮气管道，尾气管道上设置有尾气阀A、尾气切断阀和尾气阀B，所述尾气切断阀位于尾气阀A和尾气阀B之间，所述尾气管道和氮气管道之间连接有氮气阀，废气管道上设置有泄压切断阀，所述废气管道和尾气管道之间连接有连接阀，通过旋转调节螺杆，使个塞子可以快速同时完成插入、锁紧密封、接通氮气，无需单人逐孔搬运，当逆时针旋转调节螺杆，个塞子将同步下降脱离尾气孔，方便快捷提高产能。