一种激光冷清洗装置、激光清洗基体的方法

本发明提供了一种激光冷清洗装置、激光清洗基体的方法，属于激光应用领域。本发明提供的激光冷清洗装置，包括激光清洗设备；温度监测系统，用于监测被清洗基体的表面温度；液氮气体喷嘴，用于将液氮喷射于被清洗基体的表面；与所述液氮气体喷嘴通过管路相连的加压液氮气源，所述管路上设置有流量阀；计算机控制系统，所述计算机控制系统分别与所述激光清洗设备、温度监测系统和流量阀相连，所述计算机控制系统根据所述温度监测系统的反馈调整液氮的流量、激光清洗设备的作业参数。本发明的装置能降低激光清洗产生的热烧蚀和氧化作用，又能通过喷射气体将激光清洗产生的烟尘吹散，降低激光清洗所产生烟尘的浓度及其对激光清洗终端镜头的粘附污染。