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기록
一种放电等离子烧结制备厚靶的方法
발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
冯钰天; 崔同江; 徐毓炜
IPC 분류
B22F 3/105 (2006.01)B22F 3/03 (2006.01)B22F 3/00 (2021.01)C23C 14/34 (2006.01)
本发明公开了一种放电等离子烧结制备厚靶的方法及装置。方法包括:对选自Ni、Ni、Ga或Ni、Ni、Ga的化合物、合金或其组合的靶材粉末进行预处理并压制成生坯层;将生坯层置于支撑层上组装后放入模具系统内;在氧含量≤10 ppm的氩气气氛下进行放电等离子烧结,控制升温速率100‑150℃/min、保温10‑15 min、电流密度3‑12 A/mm、轴向压力5‑80 MPa;最后冷却脱模得到厚靶;所述装置包括真空与气氛系统、压力与电流导入系统、模具系统及PLC控制系统;本发明适用于Ni及Ga‑Ni合金等材料的厚靶制备,制备的靶材具有元素损耗低、相对密度高、微观结构均匀及抗辐照性能优异的特点,特别适用于医用放射性核素生产所需的高性能厚靶制备。