基于神经网络优化的半导体线切割线张力调节装置与方法

本发明提供了一种基于神经网络优化的半导体线切割线张力调节装置与方法，包括：算法处理中央系统、参数反馈系统、物料切割系统。算法处理中央系统包括系统控制器，初始参数输入；参数反馈系统包括线切割张力反馈，工作温度反馈，实时切割质量反馈；物料切割系统包括物料平台，切割液输送装置，罗拉结构和收放线轮等。方法：前期对不同线切割工作时的线孔径、材料特性、切割线表面质量、线张力、线速度、物料进给速率、工作温度、切割液流量、以及对应的切割速率、切割精度等大量参数数据的采集，通过神经网络预训练，并结合实时优化算法，获得最优的切割参数，以此获得更快的切割速率和更高的切割精度。