一种激光与等离子体协同抛光装置及抛光方法

本申请涉及激光抛光技术领域，公开了一种激光与等离子体协同抛光装置及抛光方法，包括：第一光路，用于传输第一激光；第二光路，用于传输第二激光；合束聚焦组件，设置在第一光路的出光侧和第二光路的出光侧，将第一激光和第二激光合束并分别使第一激光聚焦形成第一焦点、第二激光聚焦形成第二焦点；第一焦点位于待抛光样品的表面的第一高度处，第二焦点位于待抛光样品的表面的第二高度处；通过先聚焦的第二激光用于对待抛光样品的表面进行预热活化，通过后聚焦的第一激光用于产生等离子体对预热的抛光样品进行抛光。解决现有技术中直接通过激光加工样品表面而导致表面粗糙度较大、无法达到光学级或原子级的表面粗糙度的问题。