光学系统、光学加工设备和加工方法

本申请提供一种光学系统、光学加工设备和加工方法。光学系统包括光源模块和光路传输模块。光源模块用于输出加工用激光脉冲，加工用激光脉冲包括第一激光脉冲和第二激光脉冲。光路传输模块包括第一光路传输组件和第二光路传输组件。第一光路传输组件用于接收第一激光脉冲，第一光路传输组件包括第一整形组件，用于对第一激光脉冲进行波前整形，以使产生的第一无衍射光束脉冲对待加工基板进行通孔加工。第二光路传输组件用于接收第二激光脉冲，第二光路传输组件包括第二整形组件，用于将第二激光脉冲的偏振态由线偏振调整为圆偏振，以使圆偏振态的第二激光脉冲聚焦于通孔的内壁，以改变通孔的内壁的材料的折射率，通孔加工和在通孔内壁形成光波导。