用于磁性马达的拆装机构

本申请公开一种用于磁性马达的拆装机构，磁性马达用于安装在半导体设备的安装腔体内，拆装机构包括：机构支架，包括支撑件和固定座，支撑件连接于固定座并朝固定座的一侧延伸，支撑件用于伸入安装腔体内并抵接于安装腔体的底部；驱动模块，穿设于固定座并沿穿设方向相对于固定座能够直线升降运动；以及锁定模块，设置于固定座设有支撑件的同一侧并连接于驱动模块，锁定模块用于与磁性马达非磁性地连接，以使锁定模块在驱动模块的驱动下能够带动磁性马达相对于安装腔体垂直升降；由此，可借助于拆装机构在狭窄的安装腔体内精确、可靠且安全地拆装磁性马达。