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案件記録
方硅棒的磨削设备
発明有効
20請求項 · 1 独立
§ Ⅰ
案件概要
発明者
卢建春; 顾斌; 潘雪明; 李鑫; 曹奇峰
IPC分類
B24B 19/22 (2006.01)B24B 27/00 (2006.01)B24B 41/06 (2012.01)B24B 47/12 (2006.01)B24B 47/22 (2006.01)B24B 47/04 (2006.01)
本申请公开一种方硅棒的磨削设备,包括:机座,设置有沿横向延伸的磨削导轨,磨削导轨包括用于横向放置方硅棒以待执行磨面作业的第一区段及用于横向放置方硅棒以待执行磨角作业的第二区段;磨面装置,对应设置在第一区段用于对方硅棒进行磨面作业,包括用于夹持方硅棒两端并可沿磨削导轨横向运动的磨面载具,及分别设置在磨削导轨的相对两侧用于对方硅棒的相对两侧面进行磨面作业的第一及第二磨面主轴;以及磨角装置,对应设置在第二区段用于对方硅棒相对两侧棱边进行磨角作业,包括用于以侧向支撑方硅棒沿磨削导轨横向运动的磨角载具,及分别设置在磨削导轨的相对两侧用于对方硅棒的相对两侧棱边进行磨角作业的第一及第二磨角主轴。
外部リソース