一种专用于TEC陶瓷制冷片的研磨垫及其制备方法

本发明属于研磨工具技术领域，公开了一种专用于TEC陶瓷制冷片的研磨垫及其制备方法，解决现有TEC热制冷片加工过程中的加工效率低、清洗难等问题。一种专用于TEC陶瓷制冷片的研磨垫，包括底材和设置在底材上的若干平顶面的研磨块，所述研磨块的原料组分包括金刚石‑碳化硅磨料、粘结剂、氧化铝团聚体、气相SiO和填料。本发明研磨垫在加工TEC制冷片过程中具有稳定性好、磨抛效率高和表面质量优异的优势。此外，相较于传统研磨垫，本发明中的研磨垫在研磨整体结构上，做出进一步的改进，在研磨垫的底部增加了一层阻尼布，在研磨过程中起到缓震的作用，防止研磨过程中导致制冷片中间的金属锡焊产生微裂纹，影响产品性能以及良率。