一种独立双臂真空直驱机械手臂

本发明涉及真空机械手，特别涉及一种独立双臂真空直驱机械手臂。包括大臂、右手臂和左手臂，其中大臂的中部设有手臂接口，左、右手臂分别设置于大臂的两端，且左、右手臂分别独立运动。大臂包括大臂壳体及设置于大臂壳体内的右大臂带传动机构和左大臂带传动机构；手臂接口包括同轴安装且分别独立旋转的外轴、中间轴和内轴，外轴与大臂壳体连接，带动大臂壳体旋转；中间轴通过右大臂带传动机构与右手臂连接，带动右手臂伸缩；内轴通过左大臂带传动机构与左手臂连接，带动左手臂伸缩。本发明通过左右手臂共用同一大臂的设计，形成可满足半导体行业需求的大间距手臂布局，适配外部大间距并列工位，有效提升晶圆搬运效率。