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案件記録
单晶硅棒截断装置及截断方法
発明有効
10請求項 · 2 独立
§ Ⅰ
案件概要
発明者
王鹏; 杨佐东; 谢泽军
IPC分類
B28D 5/04 (2006.01)B28D 5/00 (2006.01)C09J 1/02 (2006.01)C09J 11/08 (2006.01)C09J 11/04 (2006.01)
本发明公开了一种单晶硅棒截断装置及截断方法,旨在解决现有固定方式因应力集中、刚性接触及晶棒直径适应性差而导致的崩边问题。该方法包括:将多个曲率半径与单晶硅棒匹配的弧面PVC支撑台沿轴向间隔布置,在其内表面涂覆复合粘结剂后架设硅棒,固化形成弹性缓冲层;随后整体移送至截断机,利用金刚石线对悬空段进行定长切割;切割完成后,将组件送入80°C烘箱保温5–20分钟,凭借复合粘结剂的热响应解耦特性实现弧面PVC与硅棒的洁净分离。该弹性缓冲层不仅具备优异的界面缓冲与应力分散能力,消除崩边现象,还具有适宜的剥离强度和初期硬度,兼顾装夹稳定性与脱模便捷性,显著提升产品外观质量与生产效率。
外部リソース