非接触充电晶圆盒搬运机器人、充电桩及充电控制系统

本发明公开了非接触充电晶圆盒搬运机器人，包括有机器人本体、蓄电池、感应线圈、感应控制器以及接触器；所述蓄电池、感应线圈、感应控制器、接触器均设置在所述机器人本体上；所述感应线圈、感应控制器、接触器与蓄电池连接，用于在非接触的情况下，通过感应外部发射线圈发射的电磁能量，并将其转换成电能储存在蓄电池中；本发明通过设计全新的非接触充电晶圆盒搬运机器人，实现了对晶圆盒的环保搬运，通过设计与非接触充电晶圆盒搬运机器人相互配套的充电桩和充电控制系统，能够保障搬运机器人在无接触式的情况下，实现安全稳定的运行。