一种卧式载运装置

本发明公开了一种卧式载运装置，包括相互盖合的上盖和下盖，所述下盖内设有减震固定机构，所述减震固定机构包括减震结构和固定结构。所述减震结构包括减震部和承载部，所述减震部位于所述承载部和所述下盖的底壁之间，所述承载部以非固定形式安装于所述下盖内，且用于放置晶圆；所述固定结构设置于所述承载部的外边缘，且所述固定结构包括多个可转动的固定部，多个所述固定部沿所述承载部的周向间隔设置，每一所述固定部均在转动到锁定状态时对所述承载部上的晶圆进行固定，在转动到释放状态释放所述承载部上的晶圆。本发明解决现有的晶圆载运装置减震能力弱的问题，提高了晶圆运输过程中的安全性和稳定性。