轨道真空周转箱

本申请涉及真空转运领域，提供一种轨道真空周转箱，包括箱体、密封组件、第一转运组件、第二转运组件和取料组件；箱体相对两侧均设有对接口，对接口用于与各工位设备对接；密封组件设于箱体并用于启闭对接口；第一转运组件与箱体连接并用于驱动箱体移动；第二转运组件设于箱体内并用于带动物料在两个对接口之间转运；取料组件设于箱体上并用于带动物料在第二转运组件和对应工位设备之间转运。本申请解决了转运设备难以保持真空度和温度稳定，且转运效率较低的问题。