基于气动悬浮与静电吸附的光学薄膜传送系统

本发明涉及薄膜材料传送技术领域，公开一种基于气动悬浮与静电吸附的光学薄膜传送系统，包括：将传送路径划分为多个逻辑区段，通过控制系统使静电锚定与气动预备两种作用力主导状态如行波般沿路径传播，并在锚定状态建立时利用其瞬态电流波形与标准指纹进行比对，以执行在线微污染诊断，本发明以一种动态协同的接力式输运机制，避免了传统技术对力场静态平衡的依赖，使薄膜在绝大多数时刻均处于被牢固吸附的稳定状态，从而避免了薄膜微小振颤产生的物理前提，进而将一个动力学输运过程，提升为一个兼具过程自检与质量感知能力的集成化系统。