惯性传感器及其制造方法

本发明提供一种惯性传感器及其制造方法，包括:提供衬底，并形成绝缘介质层，以覆盖衬底；在绝缘介质层上依次形成互连线路及牺牲层，牺牲层覆盖互连线路；于牺牲层上沉积外延种子层；去除位于牺牲层正面的外延种子层，同时选择性保留位于牺牲层边缘倒角及背面的外延种子层；以剩余的外延种子层为掩模，对牺牲层进行图形化刻蚀，以形成锚点孔；在暴露出的牺牲层上以及在剩余的外延种子层上生长外延结构层，外延结构层填充锚点孔以形成锚点；图形化位于牺牲层上的述外延结构层，以形成可动的微机械结构。通过在牺牲层上沉积并选择性保留外延种子层，有效平整了倒角区域的表面形貌，消除了应力集中和异常成核点，从根本上避免颗粒状外延结构的形成。