一种利用膜分法回收硅烷和乙硅烷混合气中氢气的方法

本申请涉及气体分离与提纯技术领域，具体涉及一种利用膜分法回收硅烷和乙硅烷混合气中氢气的方法。包括如下步骤：步骤S1.将含有20％～25％硅烷、10％～15％乙硅烷、60～70％氢气的混合气进行预处理去除固体颗粒和水分；步骤S2.经过预处理的混合气通入膜分离装置，在膜分离装置的富集侧收集硅烷和乙硅烷进一步精馏，在膜分离装置渗透侧收集氢气进一步提纯，本申请采用膜分法结合优化的预处理和后处理工艺，能够高效实现氢气的回收以及硅烷、乙硅烷的富集，氢气回收率高，相比传统分离方法，本申请能耗低，具有显著的经济效益和环保效益。