一种提纯粗品三氟化氮气体的方法及装置

本发明涉及一种提纯粗品三氟化氮气体的方法及装置，属于三氟化氮气体纯化技术领域，所述方法是采用电解法制备的三氟化氮电解气依次进行预热、裂解、氟化氢洗涤、还原、碱洗、水环增压、除水以及二级精馏，在合适的工艺条件下，可以得到纯度在99.995vol％以上的高纯三氟化氮气体，该方法操作安全，冷却介质消耗量少，能耗低；所述装置包括预热器、裂解塔、缓冲罐、氟化氢洗涤塔、还原塔、碱洗塔、水环压缩机、除水设备、精馏系统以及充装系统，该方法和装置结构简单，运行安全性高，可操作性强，运行费用低，适用于大规模生产，应用前景广阔。