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기록
基于形貌响应差异的α-AlO纳米颗粒差速离心分离方法
발명유효
6청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
马健
IPC 분류
C01F 7/021 (2022.01)C01F 7/46 (2006.01)B82Y 30/00 (2011.01)B82Y 40/00 (2011.01)
本发明公开了一种基于形貌响应差异的α‑AlO纳米颗粒差速离心分离方法,包括以下步骤:S1:将α‑AlO纳米颗粒以0.55wt%的浓度分散于无水乙醇中,使用超声波装置连续分散颗粒;S2:对所得悬浮液在10000–15000rpm条件下进行高速离心,弃去下层沉淀,保留上清液;S3:对上清液再次采用与步骤S1相同条件的超声波分散;S4:将分散后的体系以4000–7000rpm进行中速离心,收集下层沉淀;S5:重复步骤S2‑S4的组合流程2~3轮,合并所有中速离心阶段所得沉淀,经干燥处理后获得目标α‑AlO纳米颗粒。本方法所得颗粒在CMP中表现出更高的抛光速率、更低的表面粗糙度与缺陷密度,在陶瓷烧结中提升致密度与晶粒均匀性;同时方法流程清晰、参数可调、设备通用性强,具备显著的工业放大与工程化应用潜力。