一种芯片废水资源化方法及其系统

本发明提出了一种芯片废水资源化方法及其系统，步骤包括：将芯片生产废水导入第一处理单元的第一吸附柱内，第一吸附柱内置有钙镁复合吸附剂，当芯片生产废水达到预设转移条件时，转移至第二吸附柱中，得到初级处理液；在初级处理液中加入酸性处理物，再转移至复合生物炭床单元，复合生物炭床单元包括上处理部和下处理部，上处理部内设有氮掺杂生物炭层，下处理部内设有高芳香度生物炭层，得到中级处理液；在中级处理液中加入混凝剂，再依次进行过滤、超滤以及反渗透操作，得到资源化水。从根本上解决了现有技术中芯片废水处理后水质不稳定、难以稳定满足超纯水回用的缺陷。