一种CVD法制备多孔不透明高纯石英的装置及方法

本发明公开了一种CVD法制备多孔不透明高纯石英的装置及方法，包括反应炉，安装在反应炉顶端的燃烧器，以及位于燃烧器下方顺序连接的石英基板、引杆和驱动机构；燃烧器包括由中心轴向外依次设置的内屏蔽层、内氧层和氢气层，内屏蔽层用于通入保护气体，内氧层用于通入氧气，氢气层用于通入氢气；内屏蔽层内设置位于中心轴的中心层以及环绕在中心层外的原料层，中心层用于通入硅烷造孔剂，原料层用于通入硅源；氢气层内设置环氧层，环氧层用于通入氧气。本发明设置多层结构的燃烧器，引入硅烷造孔剂，并通过优化造孔剂、硅源、保护气体的通入位置，实现多孔高纯石英的制备，解决了孔隙率可控性差、纯度易受杂质影响的问题。