一种基于假想温度的熔石英元件CO激光退火方法及系统

本发明提供了一种基于假想温度的熔石英元件CO激光退火方法及系统，属于工程光学领域。为了解决熔石英元件的CO激光抛光工艺中存在的材料改性程度和残余应力过大导致的元件变形甚至形成裂纹的问题。本发明对熔石英元件进行激光面扫描，采用适当的退火参数，控制表层温度高于材料软化温度（1700K）而低于材料熔融温度（2293K），并降低材料的热力学温度冷却速度，从而大幅降低表层材料的假想温度，实现表面改性程度和残余应力大小的降低，最终实现熔石英元件的激光退火。