具有极低残余应力的石英玻璃的退火装载工装和退火方法

本申请提供一种具有极低残余应力的石英玻璃的退火装载工装和退火方法，可用于石英玻璃退火技术领域。该退火装载工装包括容器主体和封盖，容器主体和封盖为双层真空结构；容器主体上端设置有开口，容器主体的内腔设置有用于承放石英玻璃砣的承载台；封盖用于封闭开口。本申请通过利用退火装载工装其双层真空结构的保温性能，降低了石英玻璃砣在退火降温过程中的冷却速率，减小了退火过程中石英玻璃砣的内外温差，从而更好地消除了石英玻璃砣的应力，使得石英玻璃砣中的残余应力下降到极低水平，大大提高了石英玻璃砣的退火效果。