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기록
常压等离子体焰管内沉积制备光纤预制棒的方法及装置
발명유효
9청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
邓泉荣; 陈子乙; 童维军; 凃振宇; 王奕博; 童一鸣; 邱锦; 谢欢
IPC 분류
C03B 37/018 (2006.01)
本发明公开了常压等离子体焰管内沉积制备光纤预制棒的方法及装置,包括将石英衬管穿设于谐振腔,依次通过波导系统和谐振腔将常压微波传输至石英衬管,在强电磁场环境下,将反应气体通入石英衬管中,以使反应气体被常压微波激发,在石英衬管中产生第一等离子体焰,控制石英衬管以第一速度转动,控制谐振腔以第二速度移动,以使反应气体在石英衬管内热解并在石英衬管的内表面上沉积出疏松体,得到沉积出疏松体的石英衬管,沉积出疏松体的石英衬管形成空心预制棒,对空心预制棒进行烧结得到玻璃化的空心预制棒,对玻璃化的空心预制棒进行融缩得到光纤预制棒。本发明制备的疏松体分散度更均匀,沉积效率高,更有利于制作大尺寸预制棒。