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기록

一种陶瓷靶材固溶体颗粒及锆酸钆镱陶瓷靶材的制备方法

발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

张挽; 岳鑫; 金鑫; 邱宏; 王晓燕; 吕延庆; 薛健; 许壮志

IPC 분류

C04B 35/50 (2006.01)C04B 35/622 (2006.01)C23C 14/34 (2006.01)C23C 14/08 (2006.01)

本发明涉及电子束物理气象沉积制备热障涂层领域,公开了一种陶瓷靶材固溶体颗粒及锆酸钆镱陶瓷靶材的制备方法。制备锆酸钆镱陶瓷靶材用的陶瓷靶材固溶体颗粒,按质量份数计,陶瓷靶材固溶体颗粒由以下成分组成:其中氧化锆31‑55份、氧化钆40‑60份、氧化镱4‑8份、分散剂0.3‑0.5份、粘结剂0.5‑0.7份。这样的陶瓷靶材固溶体颗粒制备而成的锆酸钆镱陶瓷靶材不但满足电子束物理气象沉积的使用要求,同时制备的热障涂层较传统热障涂层拥有更高的使用温度、更低的导热系数以及更长久的使用寿命。