一种织构化氮化硅陶瓷基板及其制备方法

本申请提供一种织构化氮化硅陶瓷基板及其制备方法，涉及陶瓷基板领域。该方法包括：将α‑SiN粉末、β‑SiN晶种、烧结助剂、石墨、溶剂、分散剂、粘结剂和增塑剂混合、球磨，得到流延浆料；将流延浆料进行流延成型，得到生坯带，将所述生坯带进行裁片、叠层、静压工序得到生坯体；将生坯体进行裁切、敷粉、叠片、装匣钵、排胶，得到排胶后生坯体，在氮气气氛下，将排胶后生坯体进行烧结得到织构化氮化硅陶瓷基板；β‑SiN晶种在流延刮刀作用下定向，在烧结过程中作为模板会诱导新成核的β‑SiN晶粒沿流延方向排列形成织构化结构；石墨在氮化的过程中通过促进SiO的去除，提高SiN‑SiN的连续性。