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一种氮化硅陶瓷增韧用高β相氮化硅粉体的制备方法

발명유효
2조회수
9청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

IPC 분류

C04B 35/587 (2006.01)C04B 35/626 (2006.01)

本发明提供一种氮化硅陶瓷增韧用高β相氮化硅粉体的制备方法,属于氮化硅技术领域,包括以下步骤:取高纯硅粉,高β相氮化硅粉、和铵盐混合,经过研磨、振动筛后得到混合的原料;将混合的原料在真空和氮气环境条件下进行加热氮化;氮化结束后得反应产物,将反应产物降温后粉碎得到高相氮化硅粉体。本发明提供一种氮化硅陶瓷增韧用高β相氮化硅粉体的制备方法,得到纯度≥93%的高纯度β相氮化硅粉。