一种大厚度二氧化钛靶材的等离子喷涂-冷等静压致密化方法

本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种大厚度二氧化钛靶材的等离子喷涂‑冷等静压致密化方法，包括以下步骤：靶材基体预处理，将纯铝背管采用丙酮超声清洗10‑15min，去除油污，然后等离子喷涂处理，热调化处理，再冷等静压，最后低温退火消除应力，即可；本发明显著提升靶材密度与致密度、开裂裂纹性以及靶材耐腐性，满足溅射镀膜严苛需求，采用等离子喷涂处理、热调化、冷等静压以及低温退火消除应力联合改进，得到的靶材性能实现协调改进，以及性能稳定性优异。