磷化铟抛光液及磷化铟抛光液的制备方法

本发明公开了一种磷化铟抛光液及磷化铟抛光液的制备方法，磷化铟抛光液包括磨料、悬浮剂、分散剂、第一氧化剂、第二氧化剂、表面活性剂、酸碱调节剂、光催化剂以及溶剂；磨料为粒径范围30nm‑100nm的球形氧化铝，溶剂包括水，光催化剂被配置为在光照射下将氢氧根和水分子氧化为羟基自由基。在本发明实施方式提供的磷化铟抛光液中，磷化铟抛光液采用30nm‑100nm球形氧化铝为磨料，有效解决加工件表面损伤、降低表面粗糙度、提高平整度，同时也避免磷化铟表面易造成腐蚀且溶液不易清洗容易残留。光催化剂可以调节磷化铟的化学反应速率，改善磷化铟抛光液对磷化铟的抛光速率，同时避免化学反应与机械作用不平衡而加工件表面容易出现的麻点。